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DL81/82高精度研磨拋光機，最大可兼容12英寸及以下樣品。研磨/拋光一體機的設計，可用于工藝研發(fā)和小批量生產(chǎn)中。 DL 系列是 Logitech 具有創(chuàng)新性的加工解決方案，是其最新高度自動化的智能樣品制備系統(tǒng)。該系統(tǒng)提供對 Logitech 智能氣動夾具的動態(tài)負載控制，能夠在廣泛的半導體應用中實現(xiàn)快速、可靠且高度精確的結果。
